PlasmaPro 100 RIE 模块可为各种工艺提供各向异性干法蚀刻。
兼容所有尺寸达 200mm 的晶圆
出色的均匀性、高产量和高精度工艺
原位腔室清洁和终点
宽温度范围电极，-150°C 至 400°C
联系人：Mike
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