样品尺寸：≤8英寸
工艺温度：＜450℃
预驱动源管线：6组独立管线
等离子系统：100-3000W； 1.7-3MHz
沉积材料：SiO2、Si3N4、TiN等。
均匀度：6英寸≤±3%
联系人：Mike
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