nanofab@diaotuotech.com
+86-19820819249
应用：半导体、MEMS/NEMS、太阳能电池、光子学、光学、故障分析、研发、原型制作
RIE/ICP 蚀刻机具有蚀刻硅、氧化物、氮化物、金属和聚合物的能力。
系统可以容纳从完整的 6" 晶片到奇数尺寸的零件和零件的样品尺寸。
6" 晶圆以外的样品安装在 6" 载体晶圆上。
二维码
