EBPG 5150 RAITH (Germany)

规格

加速电压：≤100kV；

最小线宽：≤8nm；

光束电流：50pA-100nA；

最小光束尺寸：≤1.7nm

扫描速率：100MHz；

书写场：100um²，500um²；

拼接误差：≤10nm；

最大基板尺寸：≤ 155mm ；

SEM成像：双通道SED，BSD；