规格
最大基板尺寸： 200x200 mm；
最大基板高度：≤8mm；
激光波长：405nm；
激光功率：0-300mW；
最小线宽：≤600nm；
对准精度：≤300nm；
双面对位精度：≤1um；
灰度： 128/255/1000级
其他功能：热控（±0.1°）；自动对焦；
联系人：Mike
手机：+86-19820819249
电话：+86-19820819249
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