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EBL ELS-F125G8 Elionix(Japan)
规格
加速电压：≤125kV；
最小线宽：≤8nm；
光束电流：50pA-15nA；
最小光束尺寸：≤1.7nm
扫描速率：100MHz；
书写场：100um²，500um²；
拼接误差：≤10nm；
最大基板尺寸：≤210mm²；
SEM成像：双通道SED，BSD
二维码
