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快速扫描
分辨率高、力控制强、成本简单
高分辨率
XYZ方向非线性参数：<0.5%
样品尺寸及固定方式：直径210mm，真空吸附，厚度≤15mm
控制器：Nano Scope V
隔振 L 可选防震平台或隔音防震平台，气动
二维码
